蘇州卡斯圖電子有限公司自主研發(fā)的無損紅外透視顯微技術(shù),廣泛交付于半導(dǎo)體(Semiconductor)領(lǐng)域公司、平板顯示(FPD)公司、科研單位、高校及第三方實驗室、軍工企業(yè)。
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該技術(shù)方案得益于精密光學(xué)設(shè)計、納米級加工的集成式光學(xué)系統(tǒng),兼容于常規(guī)金相顯微鏡(2寸-12寸)、常規(guī)體視顯微鏡(伽利略型及格林諾夫型)、常規(guī)工具顯微鏡、常規(guī)影像測量儀、超景深顯微鏡、大型龍門工業(yè)顯微鏡(MAX120寸)。技術(shù)方案可采用結(jié)構(gòu)光、近紅外波段、中遠紅外波段、太赫茲波段穿透芯片、顯示面板表層封裝的非金屬化合物,對客戶產(chǎn)品進行無損檢查。其微米/納米級物體內(nèi)部無損檢測技術(shù)在VECSEL器件、薄膜型黏晶材料穿透、全復(fù)消色差紅外檢測、可見光/紅外對位檢測等應(yīng)用。
MIR500近紅外顯微鏡——FPD無損紅外透視顯微解決方案
FPD( Flat Panel Display )包括手機、電視、車載、手表等專業(yè)顯示市場,無損紅外穿透檢測主要應(yīng)用于COG/COF/COP成品中的IC檢測,及從面板背面檢查導(dǎo)電粒子。
我司將紅外透視顯微技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)自動化AOI,服務(wù)于全國各地數(shù)十家自動化公司。
MIR500紅外顯微鏡——FPD無損紅外透視顯微解決方案
FPD( Flat Panel Display )包括手機、電視、車載、手表等專業(yè)顯示市場,無損紅外穿透檢測主要應(yīng)用于COG/COF/COP成品中的IC檢測,及從面板背面檢查導(dǎo)電粒子。
我司將紅外透視顯微技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)自動化AOI,服務(wù)于全國各地數(shù)十家自動化公司。
MIR500近紅外顯微鏡——FPD無損紅外透視顯微解決方案
FPD( Flat Panel Display )包括手機、電視、車載、手表等專業(yè)顯示市場,無損紅外穿透檢測主要應(yīng)用于COG/COF/COP成品中的IC檢測,及從面板背面檢查導(dǎo)電粒子。
我司將紅外透視顯微技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)自動化AOI,服務(wù)于全國各地數(shù)十家自動化公司。
MIR500近紅外顯微鏡——FPD無損紅外透視顯微解決方案
FPD( Flat Panel Display )包括手機、電視、車載、手表等專業(yè)顯示市場,公司自主設(shè)計的可見光DIC/紅外DIC核心顯微部件,熒光附件,廣泛應(yīng)用于屏幕生產(chǎn)設(shè)備、龍門機,幫助客戶輕松應(yīng)對導(dǎo)電粒子壓痕檢測,對于屏幕的正面和背面均可無損檢查。
客戶Y,國內(nèi)某電視、車載面板生產(chǎn)企業(yè),紅外穿透DIC案例:
MIR500近紅外顯微鏡
封裝芯片,晶圓級CSP/SIP的非破壞檢查,倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析,透過硅觀察IC芯片內(nèi)部
IR近紅外線顯微鏡,可以對SiP(System in Package),三維組裝,CSP(Chip Size Package)等用可視觀察無法看到的領(lǐng)域進行無損檢查和分析
正置紅外顯微鏡,專用紅外硅片檢測顯微鏡,硅襯底的CSP觀察
Vcsel芯片隱裂(cracks),InGaAs瑕疵紅外無損檢測,LED LD芯片出光面積測量,Chipping(chip crack)失效分析,封裝芯片的內(nèi)部缺陷,焊點檢查,
鍵合片bumping,FlipChip正反面鍵合定位標記重合誤差無損測量,可以定制開發(fā)軟件模塊快速自動測量重合誤差,硅基半導(dǎo)體Wafer,碲化鎘CdTe ,碲鎘汞HgCdTe等化合物襯底無損紅外檢測,太陽能電池組件綜合缺陷紅外檢測,LCD RGB像元面積測量
IR顯微鏡可用于透過硅材料成像,倒裝芯片封裝的不良狀況無損分析,通過紅外顯微鏡對硅片穿透可觀察晶體生長過程中的位錯,隱裂痕,芯片劃片封裝的不良狀況無損分析,封裝后的焊接部分檢查,可直接穿透厚度不超過600μm的硅片,觀察IC芯片內(nèi)部,觀察內(nèi)部線路斷裂,崩邊,崩裂,溢出等,也應(yīng)用于包括產(chǎn)品晶圓生產(chǎn)內(nèi)部缺陷檢查,短斷路檢查,鍵合對準(薄鍵合電路)