MSM-200

雙面觀察/對比測量專用顯微鏡

用于對比晶圓上面/下面芯片結(jié)構(gòu)的位置偏差

產(chǎn)品介紹

蘇州卡斯圖電子有限公司生產(chǎn)的MSM200是設(shè)計(jì)用于將晶圓的上面/下面晶體結(jié)構(gòu)光學(xué)/影像同軸重疊，通過目鏡或一個(gè)相機(jī)顯示在屏幕上。

雙面的結(jié)構(gòu)偏差快速觀察，位置的偏移量可以使用載物臺(tái)的光柵信號讀取器直接顯示或通過影像軟件進(jìn)行多功能測量。

多組物鏡倍率可供選擇：5X/10X/20X/50X/100X

MSM200適用于4/6/8/12英寸晶圓以及小片光刻產(chǎn)品。

結(jié)構(gòu)示意圖

測量介紹

MSM200雙面測量顯微鏡特點(diǎn)：

應(yīng)用

確認(rèn)通孔垂直偏差

確認(rèn)晶圓結(jié)構(gòu)重合偏差

規(guī)格