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PA80MET_120MET

PA120MET-PA80MET正置金相顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，尤其是LCD液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具。采用前置低位粗微同軸調(diào)焦系列，即便在超大負(fù)荷工作下也不會出現(xiàn)下滑現(xiàn)象，以及長期使用的可靠性。

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穩(wěn)定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

Motic全新推出的PA80MET / PA120MET正置金相顯微鏡采用靈活的模塊化設(shè)計(jì)、不僅確保光學(xué)性能，還具有穩(wěn)定的機(jī)架結(jié)構(gòu)，使之高剛性、高穩(wěn)定性，提高了顯微鏡的抗振能力，使PA80MET / PA120MET正置金相顯微鏡可廣泛的應(yīng)用于工業(yè)檢測及大型試樣檢測，尤其是LCD液晶屏行業(yè)、晶圓行業(yè)的理想檢測工具。


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機(jī)型系列：

PA80MET / PA80MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）

?載物臺行程：200 x 200 mm


PA120MET / PA120MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）

?載物臺行程：300 x 300 mm

1.采用前置低位粗微同軸調(diào)焦系列，即便在超大負(fù)荷工作下也不會出現(xiàn)下滑現(xiàn)象，以及長期使用的可靠性。


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2.超大行程移動平臺，移動范圍：305mm X 305mm,可適用于12”的晶圓、LCD或FPD檢測， 也可用于小尺寸樣品的陳列檢測，通過切換離合器手柄可實(shí)現(xiàn)全行程范圍內(nèi)的快速移動。 


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3.多樣的照明器可供選擇：12V100W鹵素?zé)裘鲌雎?射照明，12V100W鹵素?zé)裘靼祱雎渖湔彰?，可以根?jù)需要選擇，電器全部內(nèi)置主機(jī)，方便操作。


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4.高精度物鏡轉(zhuǎn)換器：采用精密軸承設(shè)計(jì)，秉承了 Motic 輕巧舒適的手感和良好的重復(fù)定位精度及同心精度。


電動轉(zhuǎn)換器

電動轉(zhuǎn)換器提高了您的工作流程的速度，標(biāo)志著PA53MET 更方便地使用。根據(jù)您的需求和偏好，從軟件、框架按鈕或控制器調(diào)整方法中進(jìn)行選擇，以進(jìn)一步提高生產(chǎn)能力和效率。


通過高精度、高準(zhǔn)確性、人性化的三維分析系統(tǒng)達(dá)到令人驚訝的效果


Z-軸模塊

Z 軸對焦模塊的地形分析功能和三維特征通過我們的Motic Analysis的軟件它生成所有的2D圖像轉(zhuǎn)換為3D 配置文件組成。


Z軸模塊參數(shù)


行程距離  

30 mm

尺寸

W:240 mm 

D:157 mm 

H:202.5 mm

精度

0.01 pm

重復(fù)性

0.5 pm

速度

1.4 mm/s

負(fù)載能力

15 kg

重量

5 kg


方便的控制板

為了幫助檢查高度一目了然，通過Z軸控制板的顯示器 的8個速度設(shè)定，控制Z軸可以快速確認(rèn)位置。此外，通過緊急停止按鈕幫助來保護(hù)阻止意外情況的發(fā)生。

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PA80MET 技術(shù)規(guī)格



明場系列

暗場系列

機(jī)型

PA80MET

PA80MET-T

PA80MET-3D

PA53MET-T- 3D

PA80MET-T-3D

PA80MET-BD-T

PA80MET-BD-3D

PA80MET-BD-T-3D

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)（CCIS）

照明

反射

反射/透射

反射

反射/透射

反射

反射/透射

反射

反射/透射

觀察筒

正像三目頭部（FN 25），傾斜角20°,三筒光路2檔選擇：（目視：相機(jī)-100:0, 0:100）

正像雙目頭（FN25），傾斜角20°（選配）

目鏡

UC-WF 10X/25,屈光度可調(diào)+/-5（標(biāo)配）

N-WF 15X/16，屈光度可調(diào)+/-5（選配）

N-WF 20X/12.5，屈光度可調(diào)+/-5（選配）

轉(zhuǎn)換器

五孔明場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽

五孔暗場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽

電動五孔明場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽（選配）

電動五孔暗場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽（選配）

Plan S-APO 平場半復(fù)消色 差金相物鏡

Plan S-APO 5X/0.15

Plan S-APO 10X/0.3

Plan S-APO 20X/0.45

Plan S-APO 50X/0.8

Plan S-APO 100X/0.9 (選配)

Plan S-APO BD 5X/0.15

Plan S-APO BD 10X/0.3

Plan S-APO BD 20X/0.45

Plan S-APO BD 50X/0.8

Plan S-APO BD 100X/0.9 (選配)

LPlan S-APO 長距平場半復(fù) 消色差金相物鏡（選配）

LPlan S-APO 20X/0.4

LPlan S-APO 50X/0.55

LPlan S-APO 100X/0.8

LPlan S-APO BD 20X/0.4

LPlan S-APO BD 50X/0.55

LPlan S-APO BD 100X/0.8

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

行程范圍：29.5 mm，粗調(diào)和微調(diào)手輪 粗調(diào)：17.7 mm/轉(zhuǎn)，微調(diào)：0.1mm/轉(zhuǎn)上限位，松緊調(diào)節(jié)環(huán)

電氣

集成電源，用于直流12V100W調(diào)光。LED亮度指示，IL開關(guān)和ECO開關(guān)

反射主體

Yes

/

/

/

Yes

/

/

/

透反主體

/

Yes

/

/

/

Yes

/

/

反射3D主體

/

/

Yes

/

/

/

Yes

/

透反3D主體

/

/

/

Yes

/

/

/

Yes

反射照明

柯勒照明系統(tǒng)/明場，DIC,簡易偏光

柯勒照明系統(tǒng)/明場，暗場，DIC,簡易偏光

光源

12V / 100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

透射照明

/

Yes

/

Yes

/

Yes

/

Yes

照明

/

勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

/

勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

/

柯勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

/

勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

光源

/

12V/100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

/

12V/100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

/

12V / 100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

/

12V/100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

聚光鏡

/

LWCD, N.A

0.65

/

LWCD, N.A

0.65

/

LWCD, N.A

0.65

/

LWCD, N.A

0.65

載物臺

尺寸：325mm （寬處 415mm） X 325mm 移動行程：200mm X 200mm 選配：晶圓臺板


PA80MET 技術(shù)規(guī)格



明場系列

暗場系列

機(jī)型

PA120MET

PA120MET-T

PA120MET-3D

PA120MET-T- 3D

PA120MET-BD

PA120MET- BD-T

PA120MET-BD-3D

PA120MET-BD- T-3D

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)（CCIS）

照明

反射

反射/透射

反射

反射/透射

反射

反射/透射

反射

反射/透射

觀察筒

正像三目頭部（FN 25），傾斜角20°,三筒光路2檔選擇：（目視：相機(jī)-100:0, 0:100）

正像雙目頭（FN25），傾斜角20°（選配）

目鏡

UC-WF 10X/25,屈光度可調(diào)+/-5（標(biāo)配）

N-WF 15X/16，屈光度可調(diào)+/-5（選配）

N-WF 20X/12.5，屈光度可調(diào)+/-5（選配）

轉(zhuǎn)換器

五孔明場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽

五孔暗場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽

電動五孔明場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽（選配）

電動五孔暗場轉(zhuǎn)換器帶DIC插槽（選配）

Plan S-APO 平場半復(fù)消色 差金相物鏡

Plan S-APO 5X/0.15

Plan S-APO 10X/0.3

Plan S-APO 20X/0.45

Plan S-APO 50X/0.8

Plan S-APO 100X/0.9 (選配)

Plan S-APO BD 5X/0.15

Plan S-APO BD 10X/0.3

Plan S-APO BD 20X/0.45

Plan S-APO BD 50X/0.8

Plan S-APO BD 100X/0.9 (選配)

LPlan S-APO 長距平場半復(fù) 消色差金相物鏡（選配）

LPlan S-APO 20X/0.4

LPlan S-APO 50X/0.55

LPlan S-APO 100X/0.8

LPlan S-APO BD 20X/0.4

LPlan S-APO BD 50X/0.55

LPlan S-APO BD 100X/0.8

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

行程范圍：29.5 mm，粗調(diào)和微調(diào)手輪 粗調(diào)：17.7 mm/轉(zhuǎn)，微調(diào)：0.1mm/轉(zhuǎn)上限位，松緊調(diào)節(jié)環(huán)

電氣

集成電源，用于直流12V100W調(diào)光。LED亮度指示，IL開關(guān)和ECO開關(guān)

反射主體

Yes

/

/

/

Yes

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透反主體

/

Yes

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/

/

Yes

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反射3D主體

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/

Yes

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/

Yes

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透反3D主體

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/

/

Yes

/

/

/

Yes

反射照明

柯勒照明系統(tǒng)/明場，DIC,簡易偏光

柯勒照明系統(tǒng)/明場，暗場，DIC,簡易偏光

光源

12V / 100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

透射照明

/

Yes

/

/

/

Yes

/

/

照明

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勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

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柯勒照明系統(tǒng)明場/內(nèi)置濾色片

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光源

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12V/ 100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

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12V/ 100W長壽命鹵素?zé)襞?/span>

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聚光鏡

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LWCD, N.A

0.65

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/

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LWCD, N.A

0.65

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載物臺

4x4"尺寸 210(W) X 170(D) mm,行程 104(X) X 102(Y) mm,金屬臺板，玻璃臺板


PA80MET & PA120MET 尺寸圖


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