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MT-300AH

MT-300AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶研發(fā)的一款高精度測量設(shè)備。使測量物體準(zhǔn)確的對準(zhǔn)樣品邊緣是很重要的,本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),保證了G質(zhì)量的邊緣檢測和顯微檢測。

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MT-300AH工具金相顯微鏡是蘇州卡斯圖電子有限公司根據(jù)半導(dǎo)體客戶研發(fā)的一款高精度測量設(shè)備。使測量物體準(zhǔn)確的對準(zhǔn)樣品邊緣是很重要的,本設(shè)備采用新進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì),保證了G質(zhì)量的邊緣檢測和顯微檢測。在直線校準(zhǔn)中,采用夾線和叉線進(jìn)行觀測,比單純使用一個(gè)直線進(jìn)行觀測所獲得的結(jié)果更為準(zhǔn)確。在主機(jī)設(shè)計(jì)方面,我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和性以及操作的舒適性。此外,我們還采用了抗疲勞設(shè)計(jì),操作人員即使長時(shí)間使用,也不會(huì)感到疲勞和不適。新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能,可提供更銳利的圖案??稍赯軸測量期間提供精準(zhǔn)對焦,由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到Z低。兩側(cè)均配備了同軸粗/微調(diào)手輪,以Z快速度實(shí)現(xiàn)對焦,儀器內(nèi)置高精度光柵尺,可進(jìn)行準(zhǔn)確的3軸測量。

特征及優(yōu)勢

■ 配置完善,測量精準(zhǔn)

■ 平臺(tái)可快速移動(dòng),方便大尺寸產(chǎn)品測量

■ 符合人體設(shè)計(jì)的光學(xué)觀察

■ 測量數(shù)值實(shí)時(shí)顯示

■ 主機(jī)臺(tái)快速測量,電腦端同步展示

■ 便捷強(qiáng)大的測量分析軟件

■ 可選配晶圓臺(tái)

■ 校準(zhǔn)和線性檢測

■ 包含獨(dú)立儀器桌、臺(tái)式電腦、鍵盤、鼠標(biāo)和 22英寸的顯示器

■ 標(biāo)準(zhǔn)尺


儀 器 型 號(hào)

MT-200AH

MT-300AH

MT-400AH

臺(tái)

鑄鐵臺(tái)尺寸(mm)

356×266

487×367

606×476

玻璃臺(tái)尺寸(mm)

260×160

345×245

445×345

運(yùn)動(dòng)行程(mm)

200(X)×150(Y)

300(X)×200(Y)

400(X)×300(Y)

調(diào)焦行程(mm)

100

100

150

放大倍數(shù)與攝像系統(tǒng)

500萬像素工業(yè)相機(jī),可拍照可測量

物鏡5X,10X,20X,50X (100選配) 目鏡:10X/20

X軸/Y軸顯示精度:0.0001mm Z軸顯示精度:0.0001MM

總放大倍數(shù)50X-500X  

示值誤差

X.Y≤(2.5+L/200)um  

Z≤(3.5+L/50)um(L為被測長度單位:mm)

照明系統(tǒng)

LED環(huán)形表面光+底部平行光

外形尺寸(mm)

(長×寬×高)

600×550×780

760×580×820

970×750×1000

承重

20kg

20kg

25kg

儀器重量(kg)

150kg

170kg

200kg

儀器電源

220V(AC)       50HZ


由于微觀結(jié)構(gòu)檢測趨于細(xì)微化,不僅要滿足觀察和測量這一生產(chǎn)和質(zhì)量管理原則,而且測量顯微鏡同時(shí)對其精度要求也越來越高


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蘇州卡斯圖電子有限公司工具金相顯微鏡型號(hào):MT200AH,MT300AH,MT400AH,MT500AH。

人體工程設(shè)計(jì)

在顯微鏡主機(jī)設(shè)計(jì)方面,我們致力于增強(qiáng)它與操作人員之間的親和力以及操作的舒適性。其儀器設(shè)計(jì)十分便于操作。此外,它還采用了抗體疲勞設(shè)計(jì),操作人員及時(shí)長時(shí)間使用,也不會(huì)感到疲勞和不適。

輔助對焦

新近研發(fā)的FA照明器具有分光棱鏡輔助對焦功能,可提供更銳利的圖案。可在Z軸測量期間提供準(zhǔn)確對焦,由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到Z低。

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